Sensor zur Messung chemischer Komponenten in Flüssigkeiten
Publikation: Geistiges Eigentum › Patentanmeldung/Patent
Beitragende
- Technische Universität Dresden
Abstract
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwesenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip (3) mit mindestens einem von einem Rand umgebenen abgedünnten Bereich (4), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymer, das im abgedünnten Bereich (4) des Halbleiterchips (3) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass DOLLAR A - das quellfähige Polymer ein polymeres Netzwerk (2) mit Volumenphasenübergang ist, DOLLAR A - das polymere Netzwerk (2) in den abgedünnten Bereich (4) eingebracht und der mechanoelastische Wandler (8) auf der nichtabgedünnten Seite des Halbleiterchips (3) aufgebracht ist, DOLLAR A - der abgedünnte Bereich (4) mit dem eingebrachten polymeren Netzwerk (2) von einer Abdeckung (6) verschlossen ist, wobei DOLLAR A - über Öffnungen (7) in der Abdeckung (6) das polymere Netzwerk (2) von einer die zu sensierende chemische Komponente enthaltenen Flüssigkeit umspülbar ist.
Details
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwesenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip (3) mit mindestens einem von einem Rand umgebenen abgedünnten Bereich (4), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymer, das im abgedünnten Bereich (4) des Halbleiterchips (3) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass DOLLAR A - das quellfähige Polymer ein polymeres Netzwerk (2) mit Volumenphasenübergang ist, DOLLAR A - das polymere Netzwerk (2) in den abgedünnten Bereich (4) eingebracht und der mechanoelastische Wandler (8) auf der nichtabgedünnten Seite des Halbleiterchips (3) aufgebracht ist, DOLLAR A - der abgedünnte Bereich (4) mit dem eingebrachten polymeren Netzwerk (2) von einer Abdeckung (6) verschlossen ist, wobei DOLLAR A - über Öffnungen (7) in der Abdeckung (6) das polymere Netzwerk (2) von einer die zu sensierende chemische Komponente enthaltenen Flüssigkeit umspülbar ist.
Originalsprache | Deutsch |
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IPC (Internationale Patentklassifikation) | G01N 27/ 26 A N |
Veröffentlichungsnummer | DE10129986 |
Land/Gebiet | Deutschland |
Prioritätsdatum | 12 Juni 2001 |
Prioritätsnummer | DE20011029986 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2 Jan. 2003 |
Externe IDs
ORCID | /0000-0002-8588-9755/work/142659689 |
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ORCID | /0000-0002-7062-9598/work/173051202 |