Sensor zur Messung chemischer Komponenten in Flüssigkeiten

Publikation: Geistiges EigentumPatentanmeldung/Patent

Beitragende

  • Technische Universität Dresden

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwesenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip (3) mit mindestens einem von einem Rand umgebenen abgedünnten Bereich (4), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymer, das in den abgedünnten Bereich (4) des Halbleiterchips (3) eingebracht ist. DOLLAR A Der Sensor ist dadurch gekennzeichnet, DOLLAR A - dass das quellfähige Polymer ein polymeres Netzwerk (2) mit Volumenphasenübergang ist, DOLLAR A - dass sich der abgedünnte Bereich (4) auf der gegenüberliegenden Seite zur Oberfläche des Halbleiterchips (5), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, befindet, DOLLAR A - dass der abgedünnte Bereich (4) mindestens eine erhabene Versteifung (5) aufweist, so dass sich Gräben auf dem abgedünnten Bereich (4) bilden, DOLLAR A - und dass in mindestens einem dieser Gräben diesen ausfüllend das polymere Netzwerk (2) eingebracht ist, wobei die Anordnung des polymeren Netzwerkes (2) in den Gräben so erfolgt, dass ein Volumenphasenübergang eine meßbare Formänderung des abgedünnten Bereiches (4) erzeugt.

Details

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwesenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip (3) mit mindestens einem von einem Rand umgebenen abgedünnten Bereich (4), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymer, das in den abgedünnten Bereich (4) des Halbleiterchips (3) eingebracht ist. DOLLAR A Der Sensor ist dadurch gekennzeichnet, DOLLAR A - dass das quellfähige Polymer ein polymeres Netzwerk (2) mit Volumenphasenübergang ist, DOLLAR A - dass sich der abgedünnte Bereich (4) auf der gegenüberliegenden Seite zur Oberfläche des Halbleiterchips (5), der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, befindet, DOLLAR A - dass der abgedünnte Bereich (4) mindestens eine erhabene Versteifung (5) aufweist, so dass sich Gräben auf dem abgedünnten Bereich (4) bilden, DOLLAR A - und dass in mindestens einem dieser Gräben diesen ausfüllend das polymere Netzwerk (2) eingebracht ist, wobei die Anordnung des polymeren Netzwerkes (2) in den Gräben so erfolgt, dass ein Volumenphasenübergang eine meßbare Formänderung des abgedünnten Bereiches (4) erzeugt.

OriginalspracheDeutsch
IPC (Internationale Patentklassifikation)G01N 27/ 26 A N
VeröffentlichungsnummerDE10129985
Land/GebietDeutschland
Prioritätsdatum12 Juni 2001
PrioritätsnummerDE20011029985
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2 Jan. 2003
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Externe IDs

ORCID /0000-0002-8588-9755/work/142659690