Sensor zur Messung chemischer Komponenten in Flüssigkeiten

Publikation: Geistiges EigentumPatentanmeldung/Patent

Beitragende

  • Technische Universität Dresden

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwensenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip mit mindestens einem abgedünnten Bereich, der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymernetzwerk, das in den abgedünnten Bereich des Halbleiterchips eingebracht ist. Der Sensor ist dadurch gekennzeichnet, dass das quellfähige Polymernetzwerk ein Polymernetzwerk mit Volumenphasenübergang ist, dass sich der abgedünnte Bereich auf der gegenüberliegenden Seite zur Oberfläche des Halbleiterchips, der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, befindet, dass der rückwärtige Teil des abgedünnten und das polymere Netzwerk aufnehmenden Teils des Halbleiterchips durch eine Abdeckung verschlossen ist, und dass die Abdeckung Öffnungen enthält, über die die Flüssigkeit auf das Polymernetzwerk mit Volumenphasenübergang wirkt.

Details

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Anwensenheit und der Konzentration chemischer Komponenten in Flüssigkeiten, bestehend aus einem Halbleiterchip mit mindestens einem abgedünnten Bereich, der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, und aus einem gegenüber den zu sensierenden chemischen Komponenten der Flüssigkeit empfindlichen quellfähigen Polymernetzwerk, das in den abgedünnten Bereich des Halbleiterchips eingebracht ist. Der Sensor ist dadurch gekennzeichnet, dass das quellfähige Polymernetzwerk ein Polymernetzwerk mit Volumenphasenübergang ist, dass sich der abgedünnte Bereich auf der gegenüberliegenden Seite zur Oberfläche des Halbleiterchips, der ganz oder teilweise einen mechanoelektrischen Wandler bildet oder enthält, befindet, dass der rückwärtige Teil des abgedünnten und das polymere Netzwerk aufnehmenden Teils des Halbleiterchips durch eine Abdeckung verschlossen ist, und dass die Abdeckung Öffnungen enthält, über die die Flüssigkeit auf das Polymernetzwerk mit Volumenphasenübergang wirkt.

OriginalspracheDeutsch
IPC (Internationale Patentklassifikation)G01N 27/ 26 A N
VeröffentlichungsnummerDE10129987
Land/GebietDeutschland
Prioritätsdatum12 Juni 2001
PrioritätsnummerDE20011029987
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2 Jan. 2003
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Externe IDs

ORCID /0000-0002-8588-9755/work/142659688