Secondary electron emission from gold microparticles in a transmission electron microscope: comparison of Monte Carlo simulations with experimental results

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • Wen Feng - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Johannes Schultz - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Daniel Wolf - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Sergii Pylypenko - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Thomas Gemming - , Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Kristina Weinel - , CEOS-Stiftungsprofessur für Elektronenoptik (gB/IFW), Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden, Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) (Autor:in)
  • Leonardo Agudo Jácome - , Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) (Autor:in)
  • Bernd Büchner - , Professur für Experimentelle Festkörperphysik (gB/IFW), Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)
  • Axel Lubk - , CEOS-Stiftungsprofessur für Elektronenoptik (gB/IFW), Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (Autor:in)

Abstract

We measure the electron beam-induced current to analyze the electron-induced secondary electron (SE) emission from micron-sized gold particles illuminated by 80 and 300 keV electrons in a transmission electron microscope. A direct comparison of the experimental and simulated SE emission (SEE) employing Monte Carlo scattering simulations based on the GEANT4 toolkit yields overall good agreement with a noticeable discrepancy arising from the shortcoming of the GEANT4 scattering cross sections in the low-loss regime. Thus, the electron beam-induced current analysis allows to quantify the inelastic scattering including SEE in the transmission electron microscope and provides further insight into the charging mechanisms.

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer085102
FachzeitschriftJournal of Physics D: Applied Physics
Jahrgang58
Ausgabenummer8
PublikationsstatusVeröffentlicht - 24 Feb. 2025
Peer-Review-StatusJa

Schlagworte

Schlagwörter

  • electron beam-induced current, Geant4, secondary electron emission, secondary electron yield, transmission electron microscopy