On-Chip Slotted Patch Antenna at 226–244 GHz in SiGe Cu-Backend Technology

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Beitragende

  • Raqibul Hasan - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Darko Cvetkovski - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Franz Alwin Dürrwald - , Professur für Schaltungstechnik und Netzwerktheorie (Autor:in)
  • Seyyid Dilek - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Uwe Maaß - , Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (Autor:in)
  • Akanksha Bhutani - , Karlsruher Institut für Technologie (Autor:in)
  • Mohamed Hussein Eissa - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Batuhan Sutbas - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (Autor:in)
  • Dietmar Kissinger - , Universität Ulm (Autor:in)
  • Corrado Carta - , Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Technische Universität Berlin (Autor:in)

Abstract

This paper presents an on-chip patch antenna designed for 226-244 GHz frequency range. A 130-nm SiGe BiCMOS technology with Cu back-end-of-line process is used to fabricate this antenna. The antenna patch is realized with the thickest layer of aluminium on top-most metal layer of the technology. The lowest thin metal layer from the back-end-of-line acts as ground plane for the antenna, shielding the antenna from the thick bulk silicon of the IC technology, which would make the antenna less efficient. The thin substrate narrows the antenna bandwidth, but it provides moderate radiation efficiency. A proximity-coupled feed patch with a slot in it provides a measured bandwidth of 18 GHz, a broadside measured realized gain of 3 dBi, and a simulated radiation efficiency of 34.5 %.

Details

OriginalspracheEnglisch
Titel2025 Asia-Pacific Microwave Conference (APMC)
Seiten1-3
ISBN (elektronisch)979-8-3315-3455-4
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Dez. 2025
Peer-Review-StatusJa

Publikationsreihe

ReiheAsia-Pacific Conference on Microwave (APMC)
ISSN2690-3938

Konferenz

Titel37th Asia-Pacific Microwave Conference
KurztitelAPMC 2025
Veranstaltungsnummer37
Dauer2 - 5 Dezember 2025
Webseite
OrtInternational Convention Center Jeju
StadtJeju
LandSüdkorea

Externe IDs

Scopus 105033961161

Schlagworte

ASJC Scopus Sachgebiete

Schlagwörter

  • BiCMOS, Cu-backend, SiGe, THz, mm-wave, on-chip antenna, proximity-coupled, slotted patch