On the Control of the Fixed Charge Densities in Al2O3-Based Silicon Surface Passivation Schemes

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • D.K. Simon - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
  • P.M. Jordan - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
  • T. Mikolajick - , Professur für Nanoelektronik, NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)
  • I. Dirnstorfer - , NaMLab - Nanoelectronic materials laboratory gGmbH (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)28215–28222
Seitenumfang8
FachzeitschriftACS Applied Materials and Interfaces
Jahrgang7
Ausgabenummer51
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 84952880572

Schlagworte

Bibliotheksschlagworte