On the Control of the Fixed Charge Densities in Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>-Based Silicon Surface Passivation Schemes

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)28215–28222
Seitenumfang8
FachzeitschriftACS Applied Materials and Interfaces
Jahrgang7
Ausgabenummer51
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Peer-Review-StatusJa

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