Machine Health diagnostics of Semiconductor Facility equipment

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Beitragende

Thomas Wagner - , Seniorprofessor für Technische Informationssysteme (Autor:in)
Burkhard Hensel - , Professur für Prozessmodellierung für vernetzte technische Systeme (Autor:in)
Germar Schneider - (Autor:in)
Martin Halfter - (Autor:in)
Oliver Hertel - (Autor:in)

Originalsprache	Englisch
Titel	Proceedings of 20th European Advanced Process Control and Manufacturing Conference (apc\|m)
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2022
Peer-Review-Status	Ja

Titel	20th European Advanced Process Control and Manufacturing Conference
Kurztitel	apc\|m 2022
Veranstaltungsnummer	20
Dauer	4 - 6 April 2022
Webseite	https://www.apcm-europe.eu/home/ https://www.apcm-europe.eu/fileadmin/user_upload/Events/2022/apcm/Sponsorform-apcm_2022.pdf
Bekanntheitsgrad	Internationale Veranstaltung
Ort	Palais des Congrès Neptune
Stadt	Toulon
Land	Frankreich

ORCID	/0000-0002-6824-3549/work/142236897