Lateral Extensions to Nanowires for Controlling Nickel Silicidation Kinetics: Improving Contact Uniformity of Nanoelectronic Devices
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
---|---|
Seiten (von - bis) | 4371-4378 |
Seitenumfang | 8 |
Fachzeitschrift | ACS applied nano materials |
Jahrgang | 4 |
Ausgabenummer | 5 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2021 |
Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
Scopus | 85106556645 |
---|---|
ORCID | /0000-0002-4859-4325/work/142253308 |
ORCID | /0000-0003-3814-0378/work/142256117 |