Lateral Extensions to Nanowires for Controlling Nickel Silicidation Kinetics: Improving Contact Uniformity of Nanoelectronic Devices

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)4371-4378
Seitenumfang8
FachzeitschriftACS applied nano materials
Jahrgang4
Ausgabenummer5
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2021
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 85106556645
ORCID /0000-0002-4859-4325/work/142253308
ORCID /0000-0003-3814-0378/work/142256117