Large area direct fabrication of periodic arrays using interference patterning

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • Andrés F. Lasagni - , Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (Autor:in)
  • Teja Roch - , Professur für Laser- und Oberflächentechnik (gB/FG) (LOT) (Autor:in)
  • Denise Langheinrich - , Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (Autor:in)
  • Matthias Bieda - , Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (Autor:in)
  • Andreas Wetzig - , Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (Autor:in)

Abstract

In this study, we introduce a recently developed approach for the fabrication of two and three dimensional structures using Direct Laser Interference Patterning (DLIP). Different periodic arrays were fabricated on polymers, resists and carbon like layers using a nanosecond pulsed laser system. The fabricated structures range from the submicrometer (~180 nm) to micrometer (~10 μm) range, and its resolution (minimal achievable feature size) depends basically on interaction nature of the laser light with the processed material, as well as the utilized wavelength and laser processing parameters. Different examples of fabricated arrays and their applications are discussed.

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)214-220
Seitenumfang7
FachzeitschriftPhysics Procedia
Jahrgang12
AusgabenummerPART 2
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

ORCID /0000-0003-4333-4636/work/219265547

Schlagworte

ASJC Scopus Sachgebiete

Schlagwörter

  • Ceramics, Direct Laser Interference Patterning, Metals, Micro and submicrometer fabrication, Polymers