Kinetic of phase transformation of SrBi2Ta2O9 deposited by metalorganic decomposition on platinum electrodes

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Beitragende

  • Manfred Moert - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • T. Mikolajick - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • G. Schindler - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • N. Nagel - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • W. Hartner - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • C. Dehm - , Infineon Technologies AG (Autor:in)
  • H. Kohlstedt - , Forschungszentrum Jülich (Autor:in)
  • R. Waser - , Forschungszentrum Jülich (Autor:in)

Abstract

Phase transformation kinetics of SrBi2Ta2O9 thin films was carried out using metalorganic decomposition on platinium electrodes. A two-dimensional growth mechanism at a decreasing nucleation rate was also studied. It was found that activation energy for the phase transformation is estimated to be 318 kJ/mol.

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)4410-4412
Seitenumfang3
FachzeitschriftApplied physics letters
Jahrgang81
Ausgabenummer23
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2 Dez. 2002
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

ORCID /0000-0003-3814-0378/work/155840905

Schlagworte

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