Interferometer zur Messung von Ebenenabständen mit Subnanometer-Genauigkeit: Funktionsmuster

Publikation: Geistiges Eigentum › Patentanmeldung/Patent

Beitragende

Details

OriginalspracheDeutsch
VeröffentlichungsnummerDE10328412
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2003
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Externe IDs

ORCID /0000-0003-0554-2178/work/148145702

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