Influence of sputtering pressure on microstructure and layer properties of iridium thin films
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
Originalsprache | Undefiniert |
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Seiten (von - bis) | 41-46 |
Seitenumfang | 6 |
Fachzeitschrift | Thin solid films |
Jahrgang | 662 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 30 Sept. 2018 |
Peer-Review-Status | Ja |
Extern publiziert | Ja |
Externe IDs
Scopus | 85050558180 |
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