Influence of gate length on ESD-performance for deep submicron CMOS technology
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Beitragende
Abstract
The electrostatic discharge (ESD)-performance of grounded-gate nMOS protection structures is analyzed for a standard 0.25 μm CMOS epitaxial layer based technology. The shortest gate lengths show unexpectedly lower ESD-thresholds. This leads to an optimum performance for longer gate length devices attributed to the trade off between power dissipation and melt volume of the parasitic bipolar.
Details
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 375-383 |
Seitenumfang | 9 |
Fachzeitschrift | Microelectronics Reliability |
Jahrgang | 41 |
Ausgabenummer | 3 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - März 2001 |
Peer-Review-Status | Ja |
Extern publiziert | Ja |
Externe IDs
ORCID | /0000-0002-0757-3325/work/139064979 |
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