Influence of gate length on ESD-performance for deep submicron CMOS technology

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • K. Bock - , Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (Autor:in)
  • B. Keppens - , Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (Autor:in)
  • V. De Heyn - , Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (Autor:in)
  • G. Groeseneken - , Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (Autor:in)
  • L. Y. Ching - , National Semiconductor Corporation (Autor:in)
  • A. Naem - , National Semiconductor Corporation (Autor:in)

Abstract

The electrostatic discharge (ESD)-performance of grounded-gate nMOS protection structures is analyzed for a standard 0.25 μm CMOS epitaxial layer based technology. The shortest gate lengths show unexpectedly lower ESD-thresholds. This leads to an optimum performance for longer gate length devices attributed to the trade off between power dissipation and melt volume of the parasitic bipolar.

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)375-383
Seitenumfang9
FachzeitschriftMicroelectronics Reliability
Jahrgang41
Ausgabenummer3
PublikationsstatusVeröffentlicht - März 2001
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

ORCID /0000-0002-0757-3325/work/139064979