Improved Thinning of GaAs Substrates by Wet Chemical Etching

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • K. Bock - , Technische Universität Darmstadt (Autor:in)
  • A. Grüb - , Technische Universität Darmstadt (Autor:in)
  • H. L. Hartnagel - , Technische Universität Darmstadt (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)3301-3302
Seitenumfang2
FachzeitschriftJournal of the Electrochemical Society
Jahrgang137
Ausgabenummer10
PublikationsstatusVeröffentlicht - Okt. 1990
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

ORCID /0000-0002-0757-3325/work/139064998

Schlagworte

Ziele für nachhaltige Entwicklung

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