High Q-factor Ba0. 25Sr0. 75TiO3 thin film bulk acoustic wave resonators: growth conditions and correlations with microstructure

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Beitragende

  • Andrei Vorobiev - (Autor:in)
  • Spartak Gevorgian - (Autor:in)
  • Markus Löffler - , Chalmers University of Technology (Autor:in)
  • Eva Olsson - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
TitelInternational Symposium on Integrated Functionalities, July 31-August 4, 2011, Cambridge, England
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011
Peer-Review-StatusNein
Extern publiziertJa