Hexacarbonyl (trimethylsilyl ethyne) dicobalt as MOCVD precursor for thin cobalt layer formation

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • Colin Georgi - (Autor:in)
  • A. Hildebrandt - , Technische Universität Chemnitz (Autor:in)
  • A. Tuchscherer - (Autor:in)
  • Steffen Oswald - (Autor:in)
  • Heinrich Lang - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
FachzeitschriftZeitschrift fur Anorganische und Allgemeine Chemie
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

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Schlagworte