Fast Fourier transform and multi-Gaussian fitting of XRR data to determine the thickness of ALD grown thin films within the initial growth regime

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer213106
FachzeitschriftApplied physics letters
Jahrgang117
Ausgabenummer21
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2020
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

WOS 000595729100002
Scopus 85096927456

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