Fab Simulation and Virtualization - The Key to Enhance the Fab Performance within the Semiconductor Industry
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Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
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Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2018 |
Peer-Review-Status | Nein |
Externe IDs
ORCID | /0000-0002-6691-5030/work/142247129 |
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Schlagworte
Schlagwörter
- Semiconductor, AMHS, Simulation, Digitalization, Fab Simulation, Semiconductor industry