Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel
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Beitragende
Abstract
2D materials are an upcoming class of materials for micro- and nanoelectronics due to their outstanding mechanical, optical, and electronic properties. They have attracted incredible interest both in the scientific and engineering communities. A reliable 2D technology in an industrial scale is yet to be demonstrated due to lack of suitable precursor chemistries, insufficient control of precise large-area monolayer growth, patterning processes or interface control up to now. The customer specific cluster tool presented here in together with an interdisciplinary research team offers a perspective to master these challenges and act as a bridgehead between science, university training and industry.
Details
Originalsprache | Deutsch |
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Titel | MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings |
Herausgeber (Verlag) | VDE Verlag, Berlin [u. a.] |
Seiten | 502-505 |
Seitenumfang | 4 |
ISBN (elektronisch) | 9783800756575 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2021 |
Peer-Review-Status | Ja |
Extern publiziert | Ja |
Publikationsreihe
Reihe | 2021 MikroSystemTechnik Kongress (MEMS-MOEMS) |
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Konferenz
Titel | MikroSystemTechnik Kongress 2021 |
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Untertitel | Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte |
Kurztitel | MST 2021 |
Dauer | 8 - 10 November 2021 |
Webseite | |
Stadt | Stuttgart-Ludwigsburg |
Land | Deutschland |
Externe IDs
Mendeley | 52c2df9b-7f24-35a8-9c6c-7264f87cd465 |
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