Ein Prozess-Integrierendes Clustertool für 2D-Materialsysteme: vom Einzelprozess zur Integration auf Waferlevel

Publikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/GutachtenBeitrag in KonferenzbandBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • M. Hoffmann - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • P. Awakowicz - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • A. Devi - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • J. Schulze - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • B. Freyer - , SENTECH Instruments GmbH (Autor:in)
  • F. P. Witek - , SENTECH Instruments GmbH (Autor:in)
  • C. Bock - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)

Abstract

2D materials are an upcoming class of materials for micro- and nanoelectronics due to their outstanding mechanical, optical, and electronic properties. They have attracted incredible interest both in the scientific and engineering communities. A reliable 2D technology in an industrial scale is yet to be demonstrated due to lack of suitable precursor chemistries, insufficient control of precise large-area monolayer growth, patterning processes or interface control up to now. The customer specific cluster tool presented here in together with an interdisciplinary research team offers a perspective to master these challenges and act as a bridgehead between science, university training and industry.

Details

OriginalspracheDeutsch
TitelMikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings
Herausgeber (Verlag)VDE Verlag, Berlin [u. a.]
Seiten502-505
Seitenumfang4
ISBN (elektronisch)9783800756575
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2021
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Publikationsreihe

Reihe2021 MikroSystemTechnik Kongress (MEMS-MOEMS)

Konferenz

TitelMikroSystemTechnik Kongress 2021
UntertitelMikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte
KurztitelMST 2021
Dauer8 - 10 November 2021
Webseite
StadtStuttgart-Ludwigsburg
LandDeutschland

Externe IDs

Mendeley 52c2df9b-7f24-35a8-9c6c-7264f87cd465