Ein neuer Prozess für die Herstellung von Silberdünnschichten mittels Atomlagenabscheidung

Publikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/GutachtenBeitrag in KonferenzbandBeigetragenBegutachtung

Beitragende

  • Nils Boysen - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)
  • Tim Hasselmann - , Bergische Univertsität Wuppertal (Autor:in)
  • Thomas Riedl - , Bergische Univertsität Wuppertal (Autor:in)
  • Anjana Devi - , Ruhr-Universität Bochum (Autor:in)

Details

OriginalspracheDeutsch
TitelMikroSystemTechnik Kongress 2019 - Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz, Proceedings
Herausgeber (Verlag)VDE Verlag, Berlin [u. a.]
Seiten48-51
Seitenumfang4
ISBN (elektronisch)9783800751297
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Publikationsreihe

Reihe2019 MikroSystemTechnik Kongress (MEMS-MOEMS)

Konferenz

TitelMikroSystemTechnik Kongress 2019: Mikroelektronik, MEMS-MOEMS, Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz
Dauer28 - 30 Oktober 2019
StadtBerlin
LandDeutschland