Ein neuer Prozess für die Herstellung von Silberdünnschichten mittels Atomlagenabscheidung
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Beitragende
Details
Originalsprache | Deutsch |
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Titel | MikroSystemTechnik Kongress 2019 - Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz, Proceedings |
Herausgeber (Verlag) | VDE Verlag, Berlin [u. a.] |
Seiten | 48-51 |
Seitenumfang | 4 |
ISBN (elektronisch) | 9783800751297 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2019 |
Peer-Review-Status | Ja |
Extern publiziert | Ja |
Publikationsreihe
Reihe | 2019 MikroSystemTechnik Kongress (MEMS-MOEMS) |
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Konferenz
Titel | MikroSystemTechnik Kongress 2019: Mikroelektronik, MEMS-MOEMS, Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz |
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Dauer | 28 - 30 Oktober 2019 |
Stadt | Berlin |
Land | Deutschland |