Der Einfluß statistischer Dotierungsschwankungen auf die minimale Kanallänge von Kurzkanal-MOS-Transistoren

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • T. Mikolajick - , Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen (Autor:in)
  • H. Ryssel - , Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen (Autor:in)

Details

OriginalspracheDeutsch
Seiten (von - bis)183-188
Seitenumfang6
FachzeitschriftITG-Fachbericht
Ausgabenummer138
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1996
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

ORCID /0000-0003-3814-0378/work/155840909

Schlagworte

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