Comparative study of ITO and TiN fabricated by low-temperature RF biased sputtering
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 021503 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology : JVST ; A, Vacuum, surfaces, and films |
| Jahrgang | 34 |
| Ausgabenummer | 2 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2016 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| Scopus | 84948665821 |
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