Automated Growth of SiGe Single Crystals with Constant Axial Gradient by Czochralski Technique

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Beitragende

N.V. Abrosimov - , Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (Erstautor:in)
Vladimir N. Kurlov - , Russian Academy of Sciences (Autor:in)
Robert Schewski - , Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (Autor:in)
Jan-Christoph Winkler - , Professur für Regelungs- und Steuerungstheorie (Autor:in)

Originalsprache	Deutsch
Aufsatznummer	1900097
Fachzeitschrift	Crystal research and technology: journal of experimental and industrial crystallography
Jahrgang	55
Ausgabenummer	2
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2019
Peer-Review-Status	Ja

Scopus	85075196534