Aufbringung organischen Materials auf einem Substrat

Publikation: Geistiges EigentumPatentanmeldung/Patent

Beitragende

  • Fraunhofer-Gesellschaft

Abstract

Die Erkenntnis der vorliegenden Erfindung beruht darauf, dass beim Aufbringen von organischem Material auf ein Substrat die Blende, die zumindest eine Öffnung aufweist, durch die ein verdampftes organisches Material auf das Substrat aufdampfbar ist, vor einem Verstopfen bzw. Zusetzen mit organischem Material bewahrt werden kann, wenn für die Blende eine Einrichtung zum Heizen der Blende zumindest im Bereich um die Öffnung herum vorgesehen wird.

Details

Die Erkenntnis der vorliegenden Erfindung beruht darauf, dass beim Aufbringen von organischem Material auf ein Substrat die Blende, die zumindest eine Öffnung aufweist, durch die ein verdampftes organisches Material auf das Substrat aufdampfbar ist, vor einem Verstopfen bzw. Zusetzen mit organischem Material bewahrt werden kann, wenn für die Blende eine Einrichtung zum Heizen der Blende zumindest im Bereich um die Öffnung herum vorgesehen wird.

OriginalspracheDeutsch
IPC (Internationale Patentklassifikation)H01L 51/ 00 A I
VeröffentlichungsnummerDE10312641
Land/GebietDeutschland
Prioritätsdatum21 März 2003
PrioritätsnummerDE20031012641
PublikationsstatusVeröffentlicht - 21 Okt. 2004
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