Analyse der Maßstabilität des 36 nm-Double-Patterning-Prozesses

Publikation: Hochschulschrift/Abschlussarbeit › Diplomarbeit

Beitragende

Details

OriginalspracheDeutsch
Gradverleihende Hochschule
Betreuer:in / Berater:in
  • Spallek, Rainer, Betreuer:in
  • Preußer, Thomas, Betreuer:in
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009
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Externe IDs

ORCID /0000-0001-9692-2808/work/142659160

Schlagworte

Schlagwörter

  • Patterning-Prozess