Algorithmic Approaches for System-Level Simulation of MEMS and Aspects of Cosimulation

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Beitragende

  • Peter Schneider - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)
  • Christoph Clauß - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)
  • Ulrich Donath - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)
  • Günter Elst - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)
  • Olaf Enge-Rosenblatt - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)
  • Thomas Uhle - , Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS, Institutsteil Entwurfsautomatisierung EAS (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
TitelSystem-Level Modeling of MEMS
Redakteure/-innenTamara Bechtold, Gabriele Schrag, Lihong Feng
Herausgeber (Verlag)Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA
Kapitel4
Seiten95-121
Seitenumfang27
ISBN (elektronisch)978-3-527-64713-2
ISBN (Print)978-3-527-31903-9
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Publikationsreihe

ReiheAdvanced micro & nanosystems
Band10
ISSN1865-3715

Externe IDs

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