Adaptive APC strategies for a PVD process: a case study.

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Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings of the 12th Advanced Process Control and Manufacturing Conference (APCM 2012)
ErscheinungsortGrenoble, France
Seiten29-34
Seitenumfang6
PublikationsstatusVeröffentlicht - 1 Apr. 2012
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

ORCID /0000-0002-6824-3549/work/142236895