A Study of Gallium FIB induced Silicon Amorphization using TEM, APT and BCA Simulation

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1839-1840
Seitenumfang2
FachzeitschriftMicroscopy and microanalysis
Jahrgang21
AusgabenummerS3
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015
Peer-Review-StatusJa

Schlagworte