A new approach for feedback control of radius and growth rate in Czochralski (Cz) processes exemplarily studied on LEC-InP
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Beitragende
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Titel | Conference Proceedings - International Conference on Indium Phosphide and Related Materials |
| Band | 1 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2006 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| Scopus | 33847163560 |
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