A framework for optimization of crystal growth processes applied to VGF growth of fluorides
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Beitragende
Abstract
We develop a flexible framework for optimization of crystal growth processes. This framework is based on an accurate and robust process model and combines two optimization loops. Adapting of model parameters and optimizing of process parameters
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | e349-e353 |
| Fachzeitschrift | Journal of crystal growth |
| Jahrgang | 275 |
| Ausgabenummer | 1-2 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2005 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| WOS | 000208324600054 |
|---|---|
| Scopus | 15944403149 |