Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einer Festkörperschicht von einem Festkörper (1), wobei durch die Modifikationen (2) ein Rissführungsbereich (4) zum Führen eines Risses zum Abtrennen eines Festkörperanteils, insbesondere einer Festkörperschicht, von dem Festkörper (1) vorgegeben wird. Die vorliegende Erfindung umfasst mindestens die Schritte: Bewegen des Festkörpers (1) relativ zu einer Laserbeaufschlagungseinrichtung, nacheinander Erzeugen von Laserstrahlen (10) mittels der Laserbeaufschlagungseinrichtung zum Erzeugen von jeweils mindestens einer Modifikation (2), wobei durch die Einstellung der Laserbeaufschlagungseinrichtung Inhomogenitäten des Festkörpers (1) im Bereich der beaufschlagten Oberfläche und/oder im Bereich des Beaufschlagten Volumens des Festkörpers (1) ausgeglichen werden, Abtrennen der Festkörperschicht von dem Festkörper (1), und Abtragen von Material des Festkörpers (2), insbesondere zum Erzeugen einer umlaufenden Vertiefung, wobei der Materialabtrag in Längsrichtung des Festkörpers (1) erfolgt.