Die Erfindung betrifft ein mikrofluidische mikrochemomechanisches System mit integrierten aktiven Elementen und ein Verfahren zur mikrofluidischen Prozessführung in einem mikrofluidischen mikromechanischen System. Erfindungsgemäß umfasst das mikrofluidische System integrierte aktive Elemente, welche hilfsenergiefrei durch beeinflussbare Umgebungsgrößen aktivierbar und durch die Änderung ihres Quellungszustandes oder ihrer mechanischen Eigenschaften aktive Funktionen bewirkend, ausgeführt sind. Das mikrofluidische mikrochemomechanische System umfasst dabei weiterhin zumindest einen Strukturträger mit zumindest einem ersten und zweiten Kanal, wobei in einem Überlagerungsbereich des ersten und zweiten Kanals eine Kammer ausgebildet ist, welche durch aktive Elemente begrenzt wird.