Polyatomic Ions from a High Current Implanter driven by a Liquid Metal Ion Source

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheUndefiniert
Seiten (von - bis)123302
Seitenumfang1
FachzeitschriftReview of scientific instruments
Jahrgang88
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2017
Peer-Review-StatusJa

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