Polyatomic Ions from a High Current Implanter driven by a Liquid Metal Ion Source
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
| Originalsprache | Undefiniert |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 123302 |
| Seitenumfang | 1 |
| Fachzeitschrift | Review of scientific instruments |
| Jahrgang | 88 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2017 |
| Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
| Scopus | 85038564931 |
|---|---|
| ORCID | /0000-0002-7406-7588/work/172570959 |