Optimierung des Clean-Prozesses auf EUV-Masken mit Hilfe multivariater statistischer Methoden

Publikation: Hochschulschrift/Abschlussarbeit › Diplomarbeit

Beitragende

  • Florian Schunke - (Autor:in)

Details

OriginalspracheDeutsch
QualifizierungsstufeDipl.-Math.
Gradverleihende Hochschule
Betreuer:in / Berater:in
  • Ferger, Dietmar, Betreuer:in
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013
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Schlagworte

Schlagwörter

  • Stochastik