Limitations on control performance in the Czochralski crystal growth process using bright ring measurement as a controlled variable

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftKonferenzartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheDeutsch
Seiten (von - bis)129-134
Seitenumfang6
Fachzeitschrift IFAC-PapersOnLine
Jahrgang2019
Ausgabenummer52
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2019
Peer-Review-StatusJa

Externe IDs

Scopus 85076108412