Inverse response behaviour in the bright ring radius measurement of the Czochralski process II: Mitigation by control

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftForschungsartikelBeigetragenBegutachtung

Beitragende

Details

OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer126013
FachzeitschriftJournal of Crystal Growth
Jahrgang2021
Ausgabenummer568-569
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2021
Peer-Review-StatusJa

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