Inverse response behaviour in the bright ring radius measurement of the Czochralski process II: Mitigation by control
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung
Beitragende
Details
Originalsprache | Englisch |
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Aufsatznummer | 126013 |
Fachzeitschrift | Journal of Crystal Growth |
Jahrgang | 2021 |
Ausgabenummer | 568-569 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2021 |
Peer-Review-Status | Ja |
Externe IDs
Scopus | 85106300353 |
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