Integrating bottom-up grown silicon nanowires on a CMOS chip to realize high-density transistor arrays for chemical sensing

Publikation: Beitrag in Buch/Konferenzbericht/Sammelband/GutachtenBeitrag in KonferenzbandBeigetragenBegutachtung

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Details

OriginalspracheEnglisch
Titel20th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2016
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016
Peer-Review-StatusJa

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