Erprobung neuartiger Konzepte und Materialien für die Integration mikromechanischer Bauelemente

Publikation: Hochschulschrift/Abschlussarbeit › Dissertation

Beitragende

  • Andre Röth - (Autor:in)

Details

OriginalspracheDeutsch
QualifizierungsstufeDr.-Ing.
Gradverleihende Hochschule
Betreuer:in / Berater:in
  • Breitkopf, Cornelia, Mentor:in
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2018
No renderer: customAssociatesEventsRenderPortal,dk.atira.pure.api.shared.model.researchoutput.Thesis

Schlagworte

Schlagwörter

  • Mikroelektronik, Bauteilintegration