A cobalt layer deposition study: Dicobaltatetrahedranes as convenient MOCVD precursor systems

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Forschungsartikel › Beigetragen › Begutachtung

Beitragende

  • C. Georgi - , Technische Universität Chemnitz (Autor:in)
  • Alexander Hildebrandt - , Technische Universität Chemnitz (Autor:in)
  • T. Waechtler - (Autor:in)
  • S.E. Schulz - (Autor:in)
  • Thomas Gessner - (Autor:in)
  • Heinrich Lang - (Autor:in)

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)4676-4682
FachzeitschriftJournal of Materials Chemistry C
Jahrgang2
Ausgabenummer23
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014
Peer-Review-StatusJa
Extern publiziertJa

Externe IDs

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Schlagworte